Custom Calculations Module（カスタム計算モジュール）

カスタムパラメータとは、お客様ご自身が数式で定義するパラメータです。数式エディターで数式に名前を付け、名前付きプレースホルダーと定数を使って式を記述し、使用前に「Evaluate」ボタンでテストします。単一パラメータ型、複数パラメータ型、スタックウェーハマップ型のパラメータに対応しています。各カスタムパラメータには上側・下側の規格限界、目標値、単位を個別に設定できるため、測定したパラメータと同じように扱えます。

インポート時に計算して測定データと一緒に保存する方法と、クライアント上でリアルタイムに計算する方法があります。後者は、すばやく調整したい計算に便利です。この設定はカスタムパラメータごとに「Custom Calculations」ダイアログで行い、そこで有効にするテクノロジー、プロセス、製品、データタイプも選択します。カスタムパラメータの設定には、管理者権限またはコントロール管理者権限が必要です。

カスタムパラメータは、ウェーハマップ、トレンド、不良トレンド、パレート、ヒストグラム、相関、レポートの各ビューのパラメータリストに、「Show <CP> Parameters」という項目から表示されます。スタックウェーハマップで使用できる集計には、平均、中央値、カウント、最小値、最大値、不良率、差分、シグマ、レンジ、ビン割合、ビンカウント、最頻ビン、上位Nビンカウントがあります。これにより、ビンマップのスタックを、他のパラメータと同じように解析できるパラメータマップに変換できます。