ベンダーに依存しない欠陥の相関分析

Defect Moduleは、欠陥検査データと欠陥画像を、歩留まり、テスト、プロセスの各データとあわせてYieldWatchDogに取り込みます。これにより、エンジニアは検査結果と歩留まり損失を結び付けるためにツールを切り替える必要がなくなります。インタラクティブなウェーハマップ上で検査レイヤー間を移動しながら、データのオーバーレイ、欠陥クラスタ・アダー・リピーターの検出、関連する欠陥画像の表示を行えるほか、欠陥密度、キルレシオ、欠陥トレンドといった主要指標の推移も追跡できます。データはテストデータや装置データと同じ環境にあるため、欠陥をその背後にある装置、工程ステップ、ロットに直接ひも付けられます。本モジュールは複数の顧客と緊密に連携して開発されたもので、すでに複数の顧客拠点で使用されています。

真因分析は相関から始まります。YieldWatchDogでは、欠陥クラスタやリピーターは孤立した画像ではありません。欠陥をその背後にある装置、工程ステップ、ロットにひも付け、ウェーハマップ上で歩留まりやテストの結果と重ね合わせ、トレンドツールで問題の推移を追跡できます。標準搭載のエクスポート機能とオーバーレイ機能により、エンジニアは原因を特定して的確な対策を講じ、歩留まりの向上と再発防止につなげられます。キルレシオは欠陥がどの程度歩留まり損失につながるかを示すため、重要な箇所に労力を集中できます。これらはすべて、エンジニアがすでに歩留まり解析に使用しているプラットフォーム上で、数回のクリックで完結します。別の欠陥ツールにデータをエクスポートする必要はありません。

いいえ。Defect Moduleは、あらゆるベンダーの装置から得られる欠陥・検査データに対応しています。YieldWatchDogのデータベースはすべてのデータソースで同じデータモデルを使用しており、新しいデータソースは当社の標準化されたデータ統合プロセスで統合されます。当社サービスの一環として、当社の統合エキスパートがお客様の検査データをYieldWatchDog形式に変換するコンバーターを作成する方法（KLARFをはじめとする業界標準の欠陥検査形式にはすでに対応済み）と、貴社の社内エキスパートが当社の統合ガイドラインに沿ってご自身で統合する方法があります。低コストのトライアル導入をご利用いただければ、ご判断の前に、お客様ご自身の検査データをYieldWatchDogでご確認いただけます。トライアル期間中は、当社のエキスパートがローダー／パーサーを作成します。