機能
Equipment Monitoring Moduleでできること
- 装置ごとのSPC（平均値／シグマシフトのしきい値、管理限界）
- EWMAおよびShewhartに基づく本格的なドリフト検出。テスト／プローブ装置にも対応し、プローブカードの劣化を早期に検出
- 類似装置間の性能差を検出。新規装置の立ち上げに最適
- 装置が監視対象パラメータに統計的に有意な差を生じさせた場合に自動通知
- 装置、チャンバー、レシピ、ラン、リワーク、スロット別にグループ化したトレンド、箱ひげ図、EWMAチャートの各ビュー
- 装置別グループ化とR²相関値を備えた相関チャート
- 装置共通性解析レポート：独立した専用レポート。装置の組み合わせ解析は拡張機能「Tool Combination」として利用可能
- Equipment Report：特定のパラメータに対する各装置の統計的影響を定量化
- Tool Commonalityでは良品ロットと不良ロットの並列比較も可能。Lot Equipment Historyでは、ロットが通過したすべての装置を表示
- オプションで、重要ロットのルーティングに向けた、AIによる「ゴールデン装置組み合わせ」の特定機能を追加可能
"YieldWatchDogを使い始めてから、当社は生産テストデータから非常に大きな価値を得ています。"
サポート
当社エキスパートによる直接サポート
ソフトウェアと業界の両方を熟知した技術担当者が直接対応します。チケットの順番待ちはなく、企業規模にかかわらず同じ水準のサポートを提供します。
よくある質問
よくあるご質問
Equipment Monitoring Moduleは、どのような装置の問題を検出しますか？
本モジュールでは、製品のテストデータを用いて特定の装置を管理できます。類似装置間の性能における統計的に有意な差を検出するため、新規装置の立ち上げに最適です。また、装置、チャンバー、レシピ、ラン、リワーク、スロット別にグループ化したトレンドチャート、箱ひげ図、EWMAチャートで、装置の経時的なドリフトを表示します。ステージと装置のフィルタを指定してパラメータを設定すると、インポーターがこれらの装置に起因するトレンドの監視を自動的に開始し、装置がパラメータに統計的に有意な差を生じさせた場合に通知を送信します。通知の例は「Significant statistical difference is detected for Parameter3, caused by EquipA3 in Stage4」です。
テスト装置やプローブ装置も監視できますか？
はい。本モジュールは製品のテストデータを基に動作するため、テスト装置やプローブ装置の管理にも使用でき、プローブカードの劣化を迅速に検出できます。装置情報は、ロット、ステージ、装置、日付、時刻と、任意でウェーハ、チャンバー、レシピ、スロット、リワーク、ランを含むシンプルなタブ区切りの装置ファイルから読み込まれます。装置履歴は、テストデータより先にインポートすることもできます。ロットは自動的に作成されるため、最初のテスト結果が届いた時点で装置データの準備が整っています。装置別にグループ化され、装置ごとのR²値を示す相関チャートでは、ある装置がパラメータとどの程度強く関連しているかを確認できます。
Tool Commonality ReportとEquipment Reportでは何がわかりますか？
Tool Commonality Reportは、選択したロット（たとえば低歩留まりロット）をステージ別、さらに装置、チャンバー、レシピ別にグループ化し、装置ごとに処理したロット数とその割合を表示します。良品ロットと不良ロットを比較するバリエーションでは、2つのロットグループを並べて比較します。Equipment Reportは、特定のパラメータに対する各装置の影響を示す統計レポートを作成します。影響は、絶対影響度（目標値からの正規化された絶対偏差の平均）と直接影響度（符号付き）で表され、統計的ノイズを無視するためのしきい値も設定できます。Lot Equipment Historyはロットが通過したすべての装置を表示します。これらのレポートはすべてCSV形式でエクスポートできます。