機能
Event Control Moduleでできること
- イベントファイルからのイベント取り込み：イベント、装置、日付、時刻、任意のコメント
- イベント前・イベント時・イベント間の統計値（平均、シグマ、最小値、最大値、UCL/LCL、データ点数）を付けた、トレンドチャート上のイベント表示
- パラメータ、テクノロジー、プロセス（工程）、製品、データタイプごとのイベント設定（評価期間を設定可能）
- 装置・期間ごとのイベント履歴
- イベント、装置、パラメータ別に設定できるユーザーごとの通知ルール（ワイルドカード対応）
- 装置レベル（例：ボトル交換）、工場レベル（例：クリーンルームの温度変更）、テストフロア（例：プローブカード交換）のイベントに対応
サポート
当社エキスパートによる直接サポート
ソフトウェアと業界の両方を熟知した技術担当者が直接対応します。チケットの順番待ちはなく、企業規模にかかわらず同じ水準のサポートを提供します。
よくある質問
よくあるご質問
Event Controlでは、どのようなイベントを解析できますか？
Event Controlは、装置のメンテナンスやボトル交換などの装置レベルのイベント、クリーンルームの温度変更などの工場レベルのイベント、プローブカード交換などのテストフロアのイベントを解析します。イベントは、イベント名、装置、日付と時刻、任意のコメントを含むイベントファイルから取り込まれます。取り込み後は、イベントと生産不良の関連性解析を高速かつ効率的に行えるため、前工程工場（ファブ）での変更の後にデータにも変化が生じているかどうかを確認できます。
解析では何がわかりますか？
トレンドチャートでは、イベントがデータ上に直接表示され、イベント前、イベント時、2つのイベント間の統計値（平均、シグマ、最小値、最大値、管理限界、データ点数）も併せて表示されます。イベントの前後の差が統計的に有意な場合は、本モジュールがそれを示します。イベント設定では、パラメータ、テクノロジー、プロセス、製品、データタイプごとに、評価期間の幅と、イベントの前後にそれぞれ必要なロット数を定義します。イベント履歴には、装置・期間ごとにすべてのイベントが一覧表示されます。
イベントによってデータが変化した場合、誰に通知されますか？
各ユーザーは、イベント、装置、パラメータ、テクノロジー、プロセス、製品、データタイプごとに、ワイルドカードを使って通知ルールを設定でき、特定のイベントを除外することもできます。イベント後の有意な変化が解析で検出されると、通知が送信されます。通知には、イベントを重ねて表示した該当パラメータのトレンド画像が含まれます。