機能
Statistical Process Controlでできること
- テクノロジー、プロセス（工程）、製品、データタイプ、パラメータに対する優先順位付きパターンによるパラメータ設定
- データからの算出または手動設定による管理限界（自動再計算と管理限界の履歴に対応）
- Shewhart、Nelson、Western Electricの各ルールに加え、3つのDR YIELDルール、EWMAチャート、Iチャート
- ルールごとの異常時処置計画（OCAP）
- パラメータに適用される設定を確認できるパラメータ概要
- ユーザーごとの通知ルールと、Reporting ServerによるSPCをトリガーとしたレポート作成
サポート
当社エキスパートによる直接サポート
ソフトウェアと業界の両方を熟知した技術担当者が直接対応します。チケットの順番待ちはなく、企業規模にかかわらず同じ水準のサポートを提供します。
よくある質問
よくあるご質問
監視はどのように実行されますか？
監視はサーバ上で実行され、データが取り込まれるたびに自動で開始されます。取り込まれたすべてのロットまたはウェーハがルールに照らしてチェックされ、クライアントのダイアログは設定にのみ使用します。設定は、テクノロジー、プロセス、製品、データタイプ、パラメータに対するパターンの優先順位付きリストとして定義し、優先順位で最初に一致したパターンが適用されます。監視はロット単位またはウェーハ単位で行え、パラメータ概要には特定のパラメータに適用される設定が表示されます。
どのようなルールやチャートを利用できますか？
本モジュールは、Shewhart、Nelson、Western Electricの各ルール（管理限界外の点、中心線の片側に連続する点、連続して増加または減少する点、ゾーンA、B、Cにある点など）に加え、傾きと異常に小さい標準偏差を対象とする3つのDR YIELDルールをチェックします。さらに、EWMAチャート、サブグループ付きのIチャート、範囲や標準偏差に基づくチャート、不良数の監視も利用できます。各ルールにはOCAPを関連付けられるため、違反時の対応をあらかじめ定義しておけます。
管理限界はどのように算出・維持されますか？
管理限界は、ターゲット±シグマの倍数としてデータから自動で算出するか、カスタムの上限・下限として手動で設定でき、両者を組み合わせることもできます。Calculate Target & Sigmaは、選択したパラメータの管理限界を、サーバで定義された直近のデータ点数、または現在のクライアントビューのデータから再計算します。自動再計算も設定できます。管理限界の変更履歴は、データベース設定で有効にすると利用できます。