装置組合せ解析：Tool Combination Module

Tool Combination Reportは、最適な装置組合せと問題のある装置組合せの両方を特定します。選択したロットについて、各ロットが工程をまたいでどの装置組合せを通過したかを歩留まりの順に表示し、各組合せを工程の連なりとして、組合せごとのロットの割合とともに示します。どの装置の順序が歩留まりの良いロットや悪いロットと相関しているか、どこで装置の使用率に差があるかを確認でき、結果をCSVファイルとしてエクスポートしてさらに分析することもできます。

組合せを装置、チャンバー、スロット、ラン、リワーク、レシピのいずれで構成するか、比較するロットのグループ数、組合せの最小深度と最大深度、表示する上位結果の件数、カットオフの割合を選択します。工程はアルファベット順または日付順に並べ替えることができ、装置の使用率は全体、選択範囲、またはその両方について表示できます。レポートは、クライアントで現在選択されているロットとグループを対象とし、デフォルトでは歩留まりパラメータを使用します。

Tool Combination Moduleは、Equipment Monitoring Moduleの拡張機能であり、同じ装置データ（ロットごとに記録されたロット、工程、装置、時刻の情報）を使用します。Equipment Monitoring ModuleのTool Commonality Reportは、ロットがどの個別の装置または装置グループを通過したかを示します。Tool Combination Reportはこれに加えて、連続する工程をまたいだ装置組合せを解析します。