Defect Module
Defect Module
あらゆるベンダーの装置から得られる欠陥・検査データを、歩留まり、装置、プロセスの各データと相関付けます。
詳細を見る （Defect Moduleについて） →重要なポイント
ウェーハレベルの工程管理
前工程工場（ファブ）の全データを1つのデータベースに
PCM/WAT、計測、装置、MESの各データは、あらゆるベンダーの装置から得られる欠陥・検査データと1つのデータモデルを共有します。そのため、歩留まりの問題を、その背後にある工程ステップと装置まで追跡できます。
装置と工程の監視
Statistical Process Controlは、インポートされたすべてのロットまたはウェーハを、Shewhart、Nelson、Western Electricの各ルールとDR YIELD独自のルールに照らしてチェックします。Equipment Monitoring Moduleは装置のドリフトや同種の装置間の差異を検出し、Tool Combination Moduleは工程をまたいだ問題のある装置の組み合わせを特定します。
貴社の顧客向けレポート
Reporting Serverは、インポートされたロットごと、スケジュールに沿って、または統計的工程管理（SPC）のルール違反が発生したときに、エンジニアリング部門、経営層、貴社の顧客向けのHTMLレポートやPDFレポートを自動で作成します。
YieldWatchDogを選ぶ理由
工程異常から真因へ
ファウンドリでは多くの製品が同じ装置を共有するため、工程異常が発生したら、その原因となった工程ステップ、装置、チャンバーまで迅速に追跡する必要があります。YieldWatchDogは欠陥、装置、PCM/WATの各データを1つの環境で関連付けます。さらにMultivariate Monitoring Moduleが相関するパラメータをまとめて監視し、個々のパラメータがすべて管理限界内に収まっている場合でも問題を捉えます。
標準的なエディション
多くの場合に適したエディション
YieldWatchDog Industrial
ファウンドリの標準的なエディションはIndustrialです。CPUコア数16、同時接続クライアント数無制限、年間サポート時間120時間を備え、ユーザー数が多くカスタマイズ要件の高い企業に対応します。
エディションは企業形態ではなく、規模に応じて設計されています。エディション選びは当社がお手伝いします。
エディションを比較 →モジュール
注目すべきモジュール
すべてのモジュールは個別にライセンス可能で、どのエディションにも追加できます。
EMM
Equipment Monitoring Module
装置ごとの統計的工程管理（SPC）、ドリフト検出、装置共通性解析レポート。
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TCM
Tool Combination Module
Equipment Monitoring Moduleの拡張機能。最適な装置組合せと問題のある装置組合せを特定します。
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SPC
Statistical Process Control
管理限界の自動算出、Shewhartルールと新たに独自開発した監視ルール、通知機能を備えています。
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MMM
Multivariate Monitoring Module
T²統計量と次元削減による監視で、単一パラメータの管理限界では見えない問題を捉えます。
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RSM
Reporting Server Module
ロットごと、スケジュール、統計的工程管理（SPC）の違反、または手動をきっかけに、HTMLおよびPDFのレポートを自動作成します。
詳細を見る （Reporting Server Moduleについて） →サポート
当社エキスパートによる直接サポート
ソフトウェアと業界の両方を熟知した技術担当者が直接対応します。チケットの順番待ちはなく、企業規模にかかわらず同じ水準のサポートを提供します。