Defect Module
Defect Module
あらゆるベンダーの装置から得られる欠陥・検査データを、歩留まり、装置、プロセスの各データと相関付けます。
詳細を見る （Defect Moduleについて） →重要なポイント
ファブから最終テストまで
フロー全体を1つのデータモデルで
すべての工程が1つのデータモデルを共有しているため、エンジニアはデータを別のツールにエクスポートすることなく、フロー全体を横断して相関を分析できます。たとえば、PCM/WATの結果と、ウェーハテストおよび最終テストの歩留まりとの相関です。
ファブ全体にわたる真因の特定
Defect Moduleは、あらゆるベンダーの検査装置で検出された欠陥を、装置、工程ステップ、ロットと関連付けます。Equipment Monitoring Moduleは装置のドリフトを検出し、Multivariate Monitoring Moduleは単一パラメータの限界値では見逃される問題を捉えます。
ゼロディフェクト市場に求められる品質
パート平均試験（PAT）はテストリミットには合格しているものの挙動が疑わしい部品をスクリーニングし、Spatial Signature Controlはウェーハ上で繰り返し現れるパターンを検出します。またMaterial Tracingは、サプライチェーン全体でロット、ウェーハ、ダイを追跡します。
YieldWatchDogを選ぶ理由
全工程を1つのプラットフォームで
IDMでは、最初の工程ステップから最終テストまで、あらゆる工程でデータが生まれます。そして歩留まりの問題は、その原因から遠く離れた工程で表面化することが少なくありません。すべてのデータが1つのデータベースにあれば、エンジニアは最終テストでの不良を、その製品が通過したウェーハ、ロット、装置までさかのぼって追跡できます。
YieldWatchDogを使い始めてから、当社は生産テストデータから非常に大きな価値を得ています。
標準的なエディション
多くの場合に適したエディション
YieldWatchDog Industrial
IDMの標準的なエディションはIndustrialです。CPUコア数16、同時接続クライアント数無制限、年間サポート時間120時間を備え、ユーザー数が多くカスタマイズ要件の高い企業に対応します。複数の拠点をお持ちの場合は、Ultimateエディションで全拠点のデータを1つの解析に統合できます。
エディションは企業形態ではなく、規模に応じて設計されています。エディション選びは当社がお手伝いします。
エディションを比較 →モジュール
注目すべきモジュール
すべてのモジュールは個別にライセンス可能で、どのエディションにも追加できます。
EMM
Equipment Monitoring Module
装置ごとの統計的工程管理（SPC）、ドリフト検出、装置共通性解析レポート。
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MMM
Multivariate Monitoring Module
T²統計量と次元削減による監視で、単一パラメータの管理限界では見えない問題を捉えます。
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SSC
Spatial Signature Control
ウェーハ上で繰り返し発生する空間パターンを検出・マーキング・検索し、パターンが一致するとメールでアラートを送信します。
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PAT
Advanced Quality Module / PAT
車載をはじめ、ゼロディフェクトが求められる産業向けのパート平均試験（PAT）と近傍ルール。
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MTM
Material Tracing Module
原材料の投入から最終テストまで、サプライチェーンを通じてロット・ウェーハ・ダイの系譜を追跡します。
詳細を見る （Material Tracing Moduleについて） →サポート
当社エキスパートによる直接サポート
ソフトウェアと業界の両方を熟知した技術担当者が直接対応します。チケットの順番待ちはなく、企業規模にかかわらず同じ水準のサポートを提供します。